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          德耐爾干式螺桿真空泵

          時間:2016-12-26 16:45

          來源:德耐爾真空泵

          作者:德耐爾1111

          點擊:

          關于德耐爾干式螺桿真空泵呢,特點在站內的產品信息里面展現了,小德就不啰嗦那么多了。但是,干式螺桿真空泵的魅力可不止這些!話不多說,直接進入主題!

          干式螺桿真空泵規格涵蓋范圍:

          單泵:抽速:80~800m³/hr

                工作壓力范圍:101325~10Pa

                極限壓力:1Pa

          雙泵:抽速:300~4500m³/hr

                工作壓力范圍:101325~1.3*×10-1Pa

                極限壓力:0.1Pa

          :干式螺桿真空泵屬于中、高真空應用

          腔體冷卻特色及選用說明:

          間接水冷配件

          間接水冷配件

          冷卻水套

          冷卻水套(間接冷卻)

          ●依製程需求不同可提供殼體直接/間接水冷方案。
          ●直接水冷適合達40℃高溫環境使用。
          ●間接水冷可控制腔體良好均溫性,可維持製程物在氣態。

          馬達特色及選用說明

          水冷馬達

          水冷馬達

          氣冷馬達

          氣冷馬達

          自循環冷卻

          氣冷馬達自循環冷卻

          ●水冷馬達低噪音,適合週遭粉塵多的環境使用,不會因馬達風扇卡粉塵導致散熱不良。
          ●氣冷馬達標配為臺灣電機大廠大同馬達,也可依客戶需求搭配指定品牌。
          ●無冷卻循環水客戶可選用氣冷馬達+自循環冷卻機型。

          軸封特色

          軸封特色及選用說明

          轉子特色及選用說明:

          第一代

          第一代—DPS系列;圓棒材加工;舊設計;排氣反覆壓縮;高溫、耗功。

          第二代

          第二代—DPS系列;平衡孔少;降低回漏率;提高真空度;溫度、耗功降低。

          第三代

          第三代—DPS系列;變導程設計;低溫、低耗功。

          在半導體行業的應用,德耐爾推出干式真空泵高階機型。其特色有以下五點:

          1、專用冷卻液冷卻,避免了冷卻水可能對殼體造成腐蝕。

          2、移動式操作界面,方便操作;顯示真空泵實際工作狀況,并可選中、英兩種文字顯示,切實貼近客戶。

          3、軍規電源接頭,安全方便。

          4、氮氣加熱器與殼溫控制,使真空泵更適應于CVD、PECVD等半導體制程。

          5、控制訊號及通訊信號界面,可對真空泵進行遠端監控。

          高階機型

          德耐爾真空泵,精加工技術,螺桿真空泵擁有核心主機制造技術,一流的檢測平臺為您提供高效穩定、節能環保的真空泵產品,歡迎留言咨詢或撥打德耐爾全國免費客服熱線:400-777-0802!


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