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          干式真空泵在半導體行業的選型應用

          時間:2018-10-24 14:03

          來源:未知

          作者:Denair

          點擊:

          干式真空泵種類很多,如果按照工作原理分類的話,可分為兩類:容積式干式真空泵和動量傳遞式干式真空泵。這兩類的干式真空泵,各自的特點又有哪些呢? 一般干式真空泵的特點為:清潔;安全;耐磨;造價低;維修方便;性能穩定;振動小,噪音低。正因為有這些特性,干式真空泵才有著更加有意義的價值和更廣泛的使用。在清潔的要求方面,一些用油潤滑的干式真空泵都會有一個潛在的油蒸氣的污染源存在,必須采取一定措施加以解決這個問題。

          在半導體產業主要應用對象的干式真空泵,會在許多抽氣工藝過程中出現一些顆粒物,一般說來,在干式真空泵中出現顆粒物有三種情況:
          1、當泵內壓力增高時引起氣固變相過程的發生;
           
          2、在泵內產生反應氣體的生成物;
           
          3、抽氣過程混入的顆粒物。
           
          防止顆粒物在泵中形成的更好措施有:
           
          1、恰當提高泵溫。物質的升華、凝結是壓力和溫度的函數,且函數聯系隨物質的不同而不同,所以調整泵的溫度可避免氣固變相進程的發作。
           
          2、下降參加化學反響氣體的濃度。單位時間內氣體反響生成物(顆粒)的數量可用反響率來表明,而反響率和反響氣體濃度成指數聯系,所以在生產工藝中充入惰性氣體,減少反響氣體濃度是下降生成顆粒物的更有效的辦法,通常這類泵緊縮氣體之前就通入惰性氣體,避免固體顆粒物的發生。
           
          3、增加抽氣通道中的氣流速度,為避免處于懸浮狀態的固體顆粒物堆積,使氣體的流動速度大于顆粒物堆積的臨界速度(即更大下降速度),在泵內及早充入適量的氣體,使氣流速率大于顆粒堆積臨界速度,保證顆粒物實現氣動運送,但是充入氣量不能過大,過大的氣量將影響泵的極限壓力,在不同的抽氣體系中,經過試驗斷定更佳充入氣量。
           
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